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接觸角測(cè)試儀如何測(cè)試晶圓表面潤(rùn)濕性是否達(dá)標(biāo)?
發(fā)布時(shí)間：2022-09-05 點(diǎn)擊次數(shù)：2115
半導(dǎo)體晶圓生產(chǎn)要求品質(zhì)是非常高的，晶圓表面上的任何瑕疵污漬都會(huì)造成芯片的損失，所以需要用接觸角測(cè)試儀檢測(cè)晶圓表面潤(rùn)濕性等來(lái)判斷晶圓表面是否達(dá)標(biāo)。
全自動(dòng)晶圓接觸角測(cè)試儀應(yīng)用：
1、液體在固體表面的接觸角和潤(rùn)濕性：包括靜態(tài)接觸角，動(dòng)態(tài)接觸角(前進(jìn)/后退接觸角)，接觸角滯后性等；
2、液滴在固體表面的起始滑動(dòng)角(或滾動(dòng)角)，滑動(dòng)速度；(擴(kuò)張功能)
3、液體在固體表面的鋪展、滲透/吸收等潤(rùn)濕行為；
4、固體表面自由能(surface free energy)，及其各種分子相互作用力(如極性/非極性)的貢獻(xiàn)；
5、液體在固體表面的粘結(jié)力(adhesion)、滯留力(retention)等；
6、固體表面在經(jīng)過(guò)清洗、處理后的結(jié)果(效果)評(píng)估：如潔凈度(cleanliness)，均勻性(homogeneity)，和表面能改變幅度等；
7、液/流-體系的表面/界面張力：包括靜、動(dòng)態(tài)表/界面張力的測(cè)量；
8、表/界面張力以及表面活性成分含量的現(xiàn)場(chǎng)、在線(xiàn)、實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)；
9、表面活性物質(zhì)(如表面活性劑)臨界膠團(tuán)溶度(CMC)的測(cè)量：包括全自動(dòng)CMC測(cè)量，全自動(dòng)有關(guān)配方的篩選和優(yōu)化；
10、表面活性物質(zhì)在界面的吸附、排列、取向、松弛等現(xiàn)象的研究；
11、液體界面的粘彈性和穩(wěn)定性：如乳狀液／泡沫等體系的穩(wěn)定性研究等等各種與液/流/固-體系相關(guān)的界面現(xiàn)象和過(guò)程的測(cè)量和分析等。
12、全自動(dòng)檢測(cè)整體解決方案，可搭配至流水線(xiàn)上使用，提高檢測(cè)效率；
簡(jiǎn)單點(diǎn)說(shuō)就是測(cè)量晶圓材料表面的鋪展、滲透、吸收等潤(rùn)濕行為，測(cè)量靜、動(dòng)態(tài)接觸角、測(cè)量分析固體的表面自由能、液體的界面和表面張力、全自動(dòng)注射系統(tǒng)、前進(jìn)后退角、滾動(dòng)滑落角等全面功能。
